型號

QV STREAM PLUS302

QV STREAM PLUS404

QV STREAM PLUS606

測量范圍

X軸

300mm

400mm

600mm

Y軸

200mm

400mm

650mm

Z軸

200mm

250mm

250mm

分辨率

0.1μm

高靈敏度CCD照相機

黑白，順序掃描CCD

精度*

E_1XY

(1.5+3L/1000)μm

E_1Z

(1.5+4L/1000)μm

E_2XY

(2.0+4L/1000)μm

*大驅動速度(X/Y/Z軸)

300mm/s

XY:400mm/S,Z:300mm/s

XY:400mm/S,Z:300mm/s

*大測量速度

40mm/s

40mm/s

40mm/s

照明

(PRL:可編程環形燈)

表面

高亮度LED[動態(B)和連續(RGB&W)照明，可切換]

輪廓

高亮度LED[動態(B)和連續(B)照明，可切換]

PRL

高亮度LED[動態(B)和連續(RGB&W)照明，可切換]

放大倍率變化系統

可編程電動轉盤

工作臺玻璃尺寸

399×271mm

493×551mm

697×758mm

臺面*大載重

20kg

40kg

50kg

尺寸(W×D×H)**

895×951×1609mm

1027×1407×1778mm

1309×1985×1794mm

重量**

360kg

579kg

1450kg