SIMCO離子發生器4214

Simco-Ion 沿線超高潔凈氮氣離子產生器型號 4214 是特別為了電離氮氣而設計，能把電離氮氣的離子送至超高潔凈要求

的半導體和其他高純潔凈度的制程。一般市面上的氮氣離子產生器都要求在氮氣流內加進少許氣體以產生離子，而這個先進工藝的離子產生器采用一個小而高效的電源，就可電離氮氣。

型號 4214 離子產生器利用高頻交流電離技術，能提供快速的消散時間，有效地中和靜電。微控處理和細小體積，能容易整合需要氮離子產生器的設備。超高潔凈的設計和內置微粒采集系統，能確保是*干凈的離子產生器，兼容和提供要緊半導體制程的靜電中和。只需提供不間斷的氮氣通過型號 4214，產生的氮離子就能滿足 Extended ISO Class 1 潔凈度，適合在 22 nm 和以下的所有晶圓技術制程工作。

為了滿足現今更微小的先進技術制程，Simco-Ion 自定義了一個標準 - “Extended ISO Class 1”，它是用 ISO
14644-1 為基礎，然后延伸到 >0.01 micron (>10 nm) 微粒，和使用典型的凝聚核計數器 Condensation Nucleus
Counter (CNC) 作測量。延伸方程式是以 ISO 14644-1Class 所定義的，和利用它的潔凈度極限線集來作外延。當外
延時，相等和大于 0.01 micron 的微粒的容許數量是 1200particles/m3 (34 particles/ft3)。Simco-Ion 沒有更改 ISO
14644-1 標準，只是延伸方程式至更微細的微粒，更多關于ISO 14644-1 的資料

型號 4214 離子產生器是一個獨立的器件，能提供高壓電源，有超潔凈的離子產生元件，和界面接口可作遙控監察工作情況和控制離子產生，全都在安放在4214 小盒子內。用戶把氮氣輸入 4214，所產生的離子就可送到靜電敏感區或所需的制程，客制復合管道或噴嘴可對應覆蓋面積要求而設計。